见证从微米到纳米的变迁 — 安捷伦半导体无机元素分析论坛

2020年1月9日,安捷伦科技在上海举办 “见证从微米到纳米的变迁 — 安捷伦半导体无机元素分析论坛“。仪器信息网对此盛事进行详细报道。在该论坛中,清合智测总经理陈登云博士作为特邀代表,同时作为IAS Inc.中国区技术总监身份,带来了气体在线分析解决方案《最新气体分析和单纳米颗粒 ICP-MS 新进样系统介绍》。

(链接:https://www.instrument.com.cn/news/20200115/520737.shtml。来源:仪器信息网)

 

在论坛中陈登云博士介绍了IAS的VPD-ICPMS/MS, CSI-ICPMS/MS技术在半导体行业的前沿应用,收到了行业尖端客户的好评。陈博士重点介绍了全球最新的SEMIGED技术 ,与ICP-MS/MS技术联机,用于半导体电子特气中单纳米颗粒的检测分析,对于金属氧化物的监测极限达到fg/L量级,在半导体特气行业客户中引起轰动。

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 图为:IAS Inc. China 技术总监 陈登云