中国电子气体分析检测技术论坛

2020年10月16日,陈登云博士作为“中国电子气体分析检测技术论坛“特邀专家介绍了SEMIGED的最新应用数据,展示了半导体超高纯氨气中单个纳米级Fe颗粒的监测结果。现场多位行业代表邀请陈博士去他们的工厂现场作相关讲座,并提出合作意向。

       会后,清合智测技术团队与珀金埃尔默技术团队共同为参会代表进行了氨气中纳米金属颗粒污染检测现场演示,采用了SEMIGED 与 珀金埃尔默 Nexion 系列ICPMS系列的联机技术,验证了氨气钢瓶对于氨气中金属颗粒物污染的严重影响。参会代表十分感兴趣,讨论了进一步合作意向。

 

SEMIGED-ICPMS技术应用于半导体高纯气体中金属粒子的检测